RTP快速炉

      1. 升降温速度快，升温采用环形红外短波加热器，最快升温速率可达200℃/s，降温时通过将炉膛退出，实现对产品的快速降温；
        2. 测温采用精准的S型金属热电偶直接测量产品表面，使加热工件的温度更加准确；
        3. 控制数学控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式，使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃；
        4. 功能多样化，既可以用于材料的快速升降温退火，也可用于化学气相沉积（CVD）法，在镍或铜箔上制备石墨烯的制备。